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20241213星期五 143857

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半导体设备
陶瓷真空吸盘
陶瓷真空吸盘 是一种特殊的真空吸盘采用多孔陶瓷材料制成,具有高孔隙率、高强度、高平整度等特点,广泛应用于半导体晶圆的切割、研磨、检测等工序

产品特点

1、精度高

2、气密性好

3、吸附力均匀

4、耐磨损、耐腐蚀

其可达到平面度0.002mm,平行度可达到0.003mm

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材料 孔径(um)孔隙率压差(bar)电阻率颜色
氧化铝5-5015-45%351x1011深灰色/土黄色
碳化硅10-5015-45%301x108黑色

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