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2025
年
1
月
18
日
星期六
13
时
55
分
28
秒
服务电话：13902696473
语言：English
欢迎来到东莞市夏阳新材料有限公司官方网站，本公司主营各种先进陶瓷和硬质合金，产品包括：氧化锆陶瓷 (ZrO2)，氧化铝陶瓷(Al2O3)，氮化硅陶瓷(Si3N4)，碳化硅陶瓷(SiC)，氧化镁锆陶瓷，钨钢加热板，钨钢模具，钨钢零部件，钨钢轧辊，陶瓷轧辊，陶瓷泵阀，灌装泵阀，焊接辊，成型辊，导轨、定位块，水刀棒等等！
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电话：
13827236739
电话：
13066193998
微信：13066193998
邮箱：msg@xycarbide.com
周一至周六 8:00 - 20:00
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半导体设备
陶瓷机械手臂
陶瓷机械手臂又称、陶瓷机械手指、晶圆托盘、晶圆机械手臂等,主要在半导体设备中起到输送搬运的作用，它相当于半导体设备这个机器人的手，负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。
产品特点
产品精度高
气密性好
耐高温性好
表面电阻率可控
耐酸碱、抗腐蚀能力强，能适应极度恶劣
查看产品
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产品性能
单位
参数
电阻率
Ω
碳化硅
1x10
5
氧化铝
1x10
14
最高使用温度
℃
分体式手臂
350
一体式手臂
800
吸附面光洁度
Ra
0.01
吸附面平面度
m m
0.01内
▲ 自密性检测:关闭真空气源，负压-85Kpa到-80Kpa，时长达60s以上
▲ 晶圆吸附检测:关闭真空气源，负压-80Kpa到-25Kpa，时长达35s以上
